Solución de monitoreo del proceso de fabricación de semiconductores cúbicos

En la fabricación de semiconductoresIndustria, AMinimizEPérdidas de rendimiento, es esencial para las plantas de fabricación de semiconductores (semiconductores FABS) para adoptar estrategias rigurosas de control de la contaminación en los cuartos limpios. Normalmente, pLa materia articulada es una de las principales fuentes de microcontaminación en los procesos de fabricación de semiconductores, que debe controlarse continuamente....

Para ayudar a las plantas de fabricación de semiconductores (fábricas de semiconductores) a monitorear continuamente el material particulado AMantener bajos niveles de partículas en el aire En cuartos limpios,CúbicoHa proporcionado confiable ÓpticoPartícula Contadores basados en tecnología de dispersión de luz,Serie OPC-6303 YSerie OPC-6510, que Realizar la detección precisa de partículas de varios tamaños en una unidad de volumen de aire...Con un Módulo sensor de contador de partículas láser único incorporado, un ventilador RPM constante y un sensor de flujo ultrasónico bien diseñado, OPC-6510 Serie y OPC-6303 serie puedeProporciona una velocidad de muestreo de gas estable y alta de 28,3 L/min que le permite cumplir con ISO 21501-4Requisito. CúbicoEn líneaÓptico Contador de partículasPuede emitir simultáneamente el número de partículas de 5 CANALES DE 0.3μm, 0.5μm, 1.0μm, 5.0μm, 10μm en PCs/28.3L o PCS/mmm y apoya la operación de 24/7 para garantizar un monitoreo de partículas estable y continuo...Además,CúbicoÓptico Contador de partículas (OPC)SeriePodría lograr la transmisión en línea de datos de monitoreo basado en RS485 ModBus y comunicación MQTT, que se puede integrar aún más en el sistema de filtración para mantener la contaminación de la materia de partículas en el entorno de la sala blanca dentro de un cierto rango de concentración baja.

Además, aRealizar a tiempo la advertencia de seguridad durante los procesos de fabricación de la industria de semiconductores, Cúbico también diseñadoSensor de humedad de rastreo basado en tecnología TDLAS Y sensor de oxígeno, aMedida ElContenido de trazas en gases de ultra alta pureza Con alta selectividad, alta precisión y excelenteFiabilidad...